高效空氣過(guò)濾器安裝后的檢漏測(cè)試，目的在于確認(rèn)高效空氣過(guò)濾器在運(yùn)輸安裝過(guò)程中未受損傷，高效空氣過(guò)濾器與其支撐框架間密封良好，送入室內(nèi)的空氣均經(jīng)高效空氣過(guò)濾器有效過(guò)濾，不存在泄漏情況。此項(xiàng)檢測(cè)對(duì)于單向流潔凈室十分必要。當(dāng)然，潔凈級(jí)別越高的潔凈室對(duì)此項(xiàng)檢測(cè)的要求也越高。
國(guó)外認(rèn)為，對(duì)于ISO 7級(jí)或更低級(jí)別的潔凈室，只要潔凈室達(dá)到了所要求的空氣潔凈度級(jí)別，就可以接受。高效空氣過(guò)濾器安裝后是否存在漏點(diǎn)的問(wèn)題可以忽略。持有這種觀點(diǎn)的依據(jù)是，在紊亂潔凈室中送入的潔凈空氣與室內(nèi)空氣一般混合較好，從而避免了由于過(guò)濾器受損或安裝欠佳，而有些許滲漏所造成的局部污染物聚集的情況。對(duì)于那些高效空氣過(guò)濾器安裝在管道或空調(diào)箱中，而并非在末端的低級(jí)別的潔凈室，當(dāng)然，更屬于只要潔凈室達(dá)標(biāo)就無(wú)需檢漏所安裝的高效空氣過(guò)濾器的情況。
相比之下，在單向流系統(tǒng)中，特別是在潔凈工作臺(tái)或隔離裝置中，由高效空氣過(guò)濾器出風(fēng)面到關(guān)鍵區(qū)氣流的流程較短，從受損或泄露部位透過(guò)來(lái)的未經(jīng)高效空氣過(guò)濾器過(guò)濾的污染空氣單向流，就可能在關(guān)鍵區(qū)產(chǎn)生局部范圍粒子計(jì)數(shù)超標(biāo)。因此，在進(jìn)行房間或區(qū)域潔凈度測(cè)試前，單向流潔凈室有必要對(duì)安裝的高效空氣過(guò)濾器逐臺(tái)進(jìn)行檢漏。
1、檢漏測(cè)試所用的氣溶膠
（1）檢漏測(cè)試氣溶膠的應(yīng)用
在檢漏已安裝好的高效空氣過(guò)濾器時(shí)，是否一定要在高效空氣過(guò)濾器上風(fēng)向使用人工產(chǎn)生的測(cè)試氣溶膠，在這個(gè)問(wèn)題上，國(guó)外也有不同的觀點(diǎn)。有人認(rèn)為如果在正常送風(fēng)狀態(tài)下，使用離散粒子計(jì)數(shù)器檢漏已安裝好的高效空氣過(guò)濾器，如果根本沒(méi)有探測(cè)到較高的粒子濃度，那么，未必有必要使用人工產(chǎn)生的高濃度測(cè)試氣溶膠。持有不同觀點(diǎn)的看法是，因?yàn)橐寻惭b好的高效空氣過(guò)濾器的檢漏工作是在潔凈室內(nèi)空態(tài)或靜態(tài)條件下進(jìn)行的，此時(shí)房間再循環(huán)空氣中的含塵濃度比動(dòng)態(tài)時(shí)要低，而潔凈室的再循環(huán)空氣所占份額又往往很高。因此，檢漏時(shí)高效空氣過(guò)濾器上風(fēng)向的含塵濃度較動(dòng)態(tài)條件下可能偏低較多，在這種情況下檢漏所得結(jié)果未必可靠。
上述雙方爭(zhēng)執(zhí)的焦點(diǎn)在于，已安裝好的高效空氣過(guò)濾器上風(fēng)向是否具有足夠的污染濃度，為檢漏結(jié)果可靠性提供保障，至于是人工產(chǎn)生的測(cè)試氣溶膠還是其它塵源，往往并非主要關(guān)注點(diǎn)。
（2）對(duì)檢漏測(cè)試氣溶膠的要求
按照國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644-3“測(cè)試與測(cè)試方法”的規(guī)定，人工所產(chǎn)生的氣溶膠應(yīng)是多分散向的，其質(zhì)量中直徑一般為0.5～0.7um。上風(fēng)向測(cè)試氣溶膠濃度應(yīng)在10～100mg/m3之間，并認(rèn)為濃度低于20mg/m3會(huì)降低檢漏的靈敏度，而濃度高于80mg/m3時(shí)，長(zhǎng)時(shí)間的測(cè)試可能會(huì)造成對(duì)過(guò)濾器的污染。
2、檢漏測(cè)試所用的設(shè)備
（1）氣溶膠發(fā)生器
ISO 14644-3對(duì)氣溶膠發(fā)生器的性能僅給出了一些原則性的意見(jiàn)：要求所用氣溶膠發(fā)生器能夠生成適當(dāng)粒徑范圍的多分散氣溶膠，所產(chǎn)生的微粒物質(zhì)濃度恒定。
（2）氣溶膠光度計(jì)
由于氣溶膠光度計(jì)的靈敏度較差，因此，為達(dá)到同等的檢漏效果，與采用離散粒子計(jì)數(shù)器相比，要求上風(fēng)向氣溶膠的濃度高很多。因此，一般適用于過(guò)濾器的最易穿透粒徑的整體穿透率≥0.005%的系統(tǒng)，而且沉積在過(guò)濾器和管道上的產(chǎn)生氣溶膠的揮發(fā)性油基物質(zhì)，對(duì)潔凈室內(nèi)的產(chǎn)品或工藝應(yīng)是無(wú)害的情況。
國(guó)外較常用的是線性氣溶膠光度計(jì)和對(duì)數(shù)氣溶膠光度計(jì)。這兩種光度計(jì)都是以mg/L的質(zhì)量濃度顯示測(cè)量結(jié)果，用前置的散射光室進(jìn)行測(cè)量。
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644-3對(duì)上述兩種氣溶膠的技術(shù)要求分別作出了以下規(guī)定：
線性氣溶膠光度計(jì)的測(cè)量技術(shù)要求：


對(duì)數(shù)氣溶膠光度計(jì)的測(cè)量技術(shù)要求：


線性和對(duì)數(shù)氣溶膠光度計(jì)的附加技術(shù)要求：

3、離散粒子計(jì)數(shù)器
對(duì)安裝好的高效空氣過(guò)濾器，國(guó)內(nèi)外最常使用的檢漏設(shè)備是離散粒子計(jì)數(shù)器。靈敏度高，與氣溶膠光度計(jì)相比，達(dá)到同等測(cè)量精度時(shí)，上游濃度僅為氣溶膠光度計(jì)的1‰～1%即可。因此，對(duì)過(guò)濾器系統(tǒng)造成的污染要小。還可以檢測(cè)到最易穿透粒徑，穿透率低至0.0000005%或更低的過(guò)濾器系統(tǒng)。檢漏所用的儀器與潔凈室測(cè)定懸浮粒子的離散粒子計(jì)數(shù)器完全一致，無(wú)其它特殊技術(shù)要求。