1、計(jì)數(shù)掃描法試驗(yàn)過程描述：計(jì)數(shù)掃描檢漏試驗(yàn)通過粒子計(jì)數(shù)來檢測(cè)過濾元件（過濾器）是否存在局部滲漏缺陷。計(jì)數(shù)掃描檢漏試驗(yàn)中，被試過濾器被安裝在試驗(yàn)臺(tái)上，在額定風(fēng)量下進(jìn)行試驗(yàn)。被測(cè)過濾器應(yīng)首先完成額定風(fēng)量下的阻力測(cè)試并被清吹后進(jìn)行本項(xiàng)試驗(yàn)。測(cè)試風(fēng)道系統(tǒng)中應(yīng)設(shè)有足夠長(zhǎng)的混合段，使得被引入的測(cè)試氣溶膠與試驗(yàn)空氣充分混合，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)氣溶膠在掃描風(fēng)道截面上的均勻分布。過濾器廠商可根據(jù)自身情況或與用戶之間的協(xié)議，選擇對(duì)過濾器進(jìn)行定性檢漏試驗(yàn)或者定量檢漏試驗(yàn)（局部透過率試驗(yàn)）。二者的試驗(yàn)裝置基本一致，區(qū)別在于對(duì)試驗(yàn)參數(shù)以及對(duì)滲漏缺陷的判定方式。計(jì)數(shù)掃描檢漏試驗(yàn)中，可通過自動(dòng)行走機(jī)構(gòu)或者手動(dòng)對(duì)被測(cè)過濾器出風(fēng)側(cè)的粒子濃度場(chǎng)進(jìn)行掃描檢測(cè)，并判斷所測(cè)區(qū)域是否存在滲漏缺陷。如有滲漏，則應(yīng)記錄滲漏處的坐標(biāo)位置。在對(duì)被測(cè)過濾器出風(fēng)側(cè)進(jìn)行掃描檢漏時(shí)，應(yīng)采用本標(biāo)準(zhǔn)所描述的采樣頭配合粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行。
試驗(yàn)過程中，探頭在靠近過濾器出風(fēng)側(cè)的位置以確定的速度移動(dòng)，掃描中探頭所覆蓋的軌跡間應(yīng)無空隙或略有重疊。當(dāng)采用多個(gè)并排的測(cè)量系統(tǒng)（多個(gè)探頭與多臺(tái)粒子計(jì)數(shù)器聯(lián)合使用）同時(shí)測(cè)量時(shí)，可以縮短掃描的時(shí)間。根據(jù)探頭坐標(biāo)以及探頭移動(dòng)速度，在掃描過程中通過對(duì)粒子濃度進(jìn)行測(cè)定，就可以對(duì)可能存在的滲漏進(jìn)行定位。而后將探頭對(duì)該處及鄰近區(qū)域進(jìn)行重復(fù)試驗(yàn)，以判斷該處是否存在滲漏缺陷。當(dāng)采用定量檢漏試驗(yàn)時(shí)，可通過過濾器下游的局部透過率平均值來計(jì)算該過濾器的計(jì)數(shù)法效率。計(jì)數(shù)掃描檢漏試驗(yàn)可使用單分散相或多分散相氣溶膠，但測(cè)試氣溶膠粒徑分布應(yīng)滿足本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定。當(dāng)采用單分散相氣溶膠時(shí)，可使用總計(jì)數(shù)法，檢測(cè)儀器為凝結(jié)核計(jì)數(shù)器（CNC）或光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器（OPC）。當(dāng)采用多分散相氣溶膠時(shí)，應(yīng)使用光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測(cè)。
2、試驗(yàn)裝置
（1）試驗(yàn)裝置的構(gòu)成：此裝置既適用于單分散相氣溶膠檢漏試驗(yàn)也適用于多分散相氣溶膠試驗(yàn)，二者之間的區(qū)別僅僅在于測(cè)試氣溶膠的發(fā)生技術(shù)和測(cè)量方法。
（2）試驗(yàn)風(fēng)道系統(tǒng)
2.1 試驗(yàn)空氣的調(diào)節(jié)：試驗(yàn)空氣在與試驗(yàn)氣溶膠混合前應(yīng)經(jīng)過預(yù)處理，應(yīng)配置合適的預(yù)過濾器（如選用性能符合國(guó)標(biāo)規(guī)定的粗效、中效以及高效過濾器）來保證其潔凈度（應(yīng)至少為ISO7 級(jí)）。
2.2 風(fēng)量調(diào)節(jié)：試驗(yàn)風(fēng)道應(yīng)有風(fēng)量調(diào)節(jié)措施（如改變風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速或者使用風(fēng)量調(diào)節(jié)閥），測(cè)試過程中，試驗(yàn)風(fēng)量應(yīng)能維持在被測(cè)過濾器額定風(fēng)量的±3%以內(nèi)。
2.3 風(fēng)量測(cè)試：風(fēng)量測(cè)量應(yīng)采用標(biāo)準(zhǔn)或經(jīng)過標(biāo)定的方法（如利用孔板、噴嘴、文丘里管的壓降測(cè)試風(fēng)量）。最大測(cè)量誤差不應(yīng)超過測(cè)量值的5%。
2.4 氣溶膠混合風(fēng)道：試驗(yàn)風(fēng)道中應(yīng)設(shè)置混合段，混合段的長(zhǎng)度應(yīng)能保證測(cè)試氣溶膠在測(cè)試段達(dá)到足夠的濃度均勻性。在上游風(fēng)道緊靠被測(cè)過濾器的斷面上，至少布置9 個(gè)均勻分布的測(cè)點(diǎn)上進(jìn)行測(cè)量，其中任一點(diǎn)的氣溶膠濃度不得偏離平均值超過10%。
2.5 被測(cè)過濾器安裝臺(tái)：被測(cè)過濾器的安裝機(jī)構(gòu)應(yīng)能保證過濾器的可靠密封。
2.6 被測(cè)過濾器：用于滲漏試驗(yàn)的過濾器不應(yīng)存在任何可見損傷或其他異常，過濾器可以按要求裝在試驗(yàn)臺(tái)上并有良好密封。試驗(yàn)過程中，過濾器的溫度應(yīng)與試驗(yàn)空氣的溫度相同。被測(cè)過濾器的搬運(yùn)與裝卸要小心，被試過濾器上應(yīng)有清晰的永久性標(biāo)識(shí)，凈化設(shè)備標(biāo)識(shí)內(nèi)容應(yīng)包括：a、過濾器的名稱；b、過濾器風(fēng)向標(biāo)記。
2.7 壓差測(cè)量孔：壓差測(cè)量孔所能測(cè)出的壓差值為被試過濾器上游氣流測(cè)量斷面靜壓平均值與周圍環(huán)境空氣的壓差，上游壓力測(cè)量斷面應(yīng)位于流速均勻的區(qū)域。
3、測(cè)試氣溶膠
（1）測(cè)試氣溶膠的種類：用于高效以及超高效過濾器計(jì)數(shù)掃描檢漏的氣溶膠可以為DOP，DEHS，PSL等，但不局限于這些物質(zhì)。所發(fā)生的氣溶膠可以為單分散相氣溶膠也可以為多分散相氣溶膠，但無論發(fā)生哪種氣溶膠，應(yīng)保證所發(fā)生氣溶膠的濃度以及粒徑分布在測(cè)試過程中保持穩(wěn)定。當(dāng)采用單分散相氣溶膠進(jìn)行計(jì)數(shù)掃描檢漏試驗(yàn)時(shí)，測(cè)試氣溶膠的計(jì)數(shù)中徑與濾料MPPS的偏差不應(yīng)超過10%。當(dāng)采用多分散相氣溶膠進(jìn)行檢漏試驗(yàn)時(shí)，測(cè)試氣溶膠的計(jì)數(shù)中徑與濾料MPPS 的偏差可以達(dá)到50%。當(dāng)無法確知濾料的MPPS 時(shí)，由過濾器買賣雙方協(xié)商確認(rèn)所采用的氣溶膠計(jì)數(shù)中值直徑。
（2）測(cè)試氣溶膠的濃度：為了獲得具有統(tǒng)計(jì)意義的結(jié)果，在上游濃度不超過計(jì)數(shù)器濃度測(cè)量上限的前提下，下游的采樣粒子數(shù)應(yīng)足夠大。當(dāng)進(jìn)行定量分析時(shí)，依據(jù)被測(cè)過濾器的效率以及所需下游最小計(jì)數(shù)（不低于10 粒/采樣周期）確定，但不應(yīng)超過1×107粒/cm3。當(dāng)進(jìn)行定性分析時(shí)，對(duì)于高效過濾器，以大于等于0.5μm 的微粒為準(zhǔn)，上游氣溶膠濃度須大于等于3×104粒/采樣周期；當(dāng)檢測(cè)超高效過濾器時(shí)，以大于等于0.1μm的微粒為準(zhǔn)，氣溶膠濃度需大于等于3×105粒/采樣周期期。
（3）氣溶膠測(cè)試儀器：當(dāng)選用單分散相氣溶膠進(jìn)行計(jì)數(shù)掃描檢漏試驗(yàn)時(shí)，既可選擇光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器，也可以選擇凝結(jié)核粒子計(jì)數(shù)器對(duì)被測(cè)過濾器下游粒子濃度進(jìn)行測(cè)量。工作不正常的氣溶膠發(fā)生器可能產(chǎn)生大量粒徑遠(yuǎn)小于濾料MPPS 的粒子，而這些粒子都將被凝結(jié)核計(jì)數(shù)器統(tǒng)計(jì)為正常粒子，這將導(dǎo)致實(shí)驗(yàn)結(jié)果的誤差。因此，但當(dāng)選用凝結(jié)核粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行測(cè)量時(shí)，應(yīng)保證不會(huì)出現(xiàn)這種情況。當(dāng)選用多分散相氣溶膠進(jìn)行檢漏試驗(yàn)時(shí)，應(yīng)選用離散式光散射粒子計(jì)數(shù)器（如：光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器）對(duì)被測(cè)過濾器下游進(jìn)行測(cè)試。當(dāng)選用多分散相氣溶膠進(jìn)行檢漏試驗(yàn)時(shí)，應(yīng)選用離散式光散射粒子計(jì)數(shù)器（如：光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器）對(duì)被測(cè)過濾器下游進(jìn)行測(cè)試。
4、掃描系統(tǒng)：凈化設(shè)備過濾器生產(chǎn)商可以選擇自動(dòng)掃描機(jī)構(gòu)，也可以選擇人工手動(dòng)掃描的方式進(jìn)行過濾器掃描檢漏試驗(yàn)。但是，手動(dòng)掃描方式無法保證掃描過程的平穩(wěn)和均勻，而對(duì)于掃描過程中粒子數(shù)的記錄也比較麻煩。因而，手動(dòng)掃描不宜用于需對(duì)測(cè)量結(jié)果進(jìn)行定量分析的場(chǎng)合，本標(biāo)準(zhǔn)的介紹將以自動(dòng)掃描裝置為主。
（1）下游采樣探頭：采樣探頭的開口面積為8～10cm2，形狀宜為正方形。當(dāng)采用矩形探頭時(shí)，邊長(zhǎng)之比不應(yīng)超過15：1。選取探頭的采樣流量時(shí)，應(yīng)保證探頭開口處流速與過濾器面風(fēng)速相差不大于25%。使用并列的幾只探頭（幾臺(tái)計(jì)數(shù)器并用）可縮短測(cè)量時(shí)間。探頭距過濾器出風(fēng)表面10～50mm。
（2）探頭臂：下游采樣探頭固定在一個(gè)可移動(dòng)的探頭臂上。
（3）氣溶膠輸送管：下游的氣溶膠輸送管應(yīng)盡快且無損失地將粒子送入粒子計(jì)數(shù)器的測(cè)量室。因此，輸送管應(yīng)盡可能短，沿途無死彎。管路材料表面光滑，不散發(fā)粒子。
（4）掃描行走機(jī)構(gòu)：掃描行走機(jī)構(gòu)應(yīng)包括驅(qū)動(dòng)、導(dǎo)向與控制，他們使探頭以垂直于氣流的方向勻速移動(dòng)。探頭的移動(dòng)速度可調(diào)，但最高不應(yīng)超過8cm/s。實(shí)際行走速度與設(shè)定值的偏離不應(yīng)超過10%。掃描機(jī)構(gòu)可以測(cè)定探頭移動(dòng)過程中的坐標(biāo)及對(duì)漏點(diǎn)進(jìn)行定位以及標(biāo)記，探頭機(jī)構(gòu)在過濾器下游斷面任一點(diǎn)的回位精度宜至少為1mm。
（5）隔離措施：被測(cè)過濾器的下游應(yīng)與周圍環(huán)境的污濁空氣隔離。此外，對(duì)過濾器邊緣漏點(diǎn)定位時(shí)也需要隔離。隔離措施的實(shí)例包括：用足夠長(zhǎng)度的圍擋包圍被試過濾器。